[发明专利]一种声表面波谐振器型加速度计结构及其测量方法

摘要

本发明公开一种声表面波谐振器型加速度计结构及其测量方法，包括压电基片、制作于压电基片上的声表面波谐振器金属指和叠加在声表面波谐振器金属指之上的同形可浮动质量载荷指。当加速度计结构作向上或向下的加速运动时，质量载荷指因惯性产生向下或向上的位移，其与下层声表面波谐振器金属指的接触面积和作用力发生变化，声表面波谐振器金属指的等效质量发生变化，最终声表面波谐振器的谐振频率发生变化，据此可以测量加速度计结构的运动加速度。与现有技术相比，本发明采用复合指结构的声表面波谐振器作为加速度敏感元件，所包含的质量载荷指的结构、材料、加工方法与下层声表面波谐振器金属指相同或相似，结构新颖，工艺兼容性好，制作方便。

主权项

1.一种声表面波谐振器型加速度计结构，其特征在于：包括压电基片（1）、制作于压电基片（1）上的声表面波谐振器金属指（2）和叠加在声表面波谐振器金属指（2）之上且与声表面波谐振器金属指（2）同形的可浮动的质量载荷指（4），所述声表面波谐振器金属指（2）包括声表面波谐振器叉指换能器的金属叉指（21）、声表面波谐振器反射器的金属反射指（22），所述质量载荷指（4）通过制作在声表面波谐振器金属指（2）两端声表面波谐振器汇流电极（3）上的锚锭（5）支撑在声表面波谐振器金属指（2）之上，质量载荷指（4）中部下垂，与其下方的声表面波谐振器金属指（2）局部接触。