[发明专利]固支梁T型结间接加热在线式已知频率微波相位检测器

摘要

本发明的固支梁T型结间接加热在线式已知频率微波相位检测器由六端口固支梁耦合器、微波相位检测器和间接加热式微波功传感器级联构成；六端口固支梁耦合器由共面波导，介质层，空气层和固支梁构成；共面波导制作在SiO₂层上，固支梁的下方沉积介质层，并与空气层共同构成耦合电容结构，两个固支梁之间的共面波导长度为λ/4；六端口固支梁耦合器的第一端口到第三端口、第四及到第一端口到第五端口、第六端口的功率耦合度相同，待测信号经六端口固支梁耦合器的第一端口输入，由第三端口和第五端口输出到间接加热式微波功率传感器，由第四端口和第六端口输出到微波相位检测器，由第二端口输出到下级处理电路；最终实现了对已知频率信号的0‑360°相位在线检测。

主权项

1.一种固支梁T型结间接加热在线式已知频率微波相位检测器，其特征在于该相位检测器由六端口固支梁耦合器（1）、微波相位检测模块（2）、第一间接加热式微波功传感器（3‑1）和第二间接加热式微波功传感器（3‑2）级联构成；其中，六端口固支梁耦合器（1）的第一端口（1‑1）到第三端口（1‑3）、第四端口（1‑4）以及第一端口（1‑1）到第五端口（1‑5）、第六端口（1‑6）的功率耦合度分别相同，待测信号经六端口固支梁耦合器的第一端口（1‑1）输入，由第三端口（1‑3）和第五端口（1‑5）分别输出到第一间接加热式微波功率传感器（3‑1）和第二间接加热式微波功率传感器（3‑2），由第四端口（1‑4）和第六端口（1‑6）输出到微波相位检测模块（2），由第二端口（1‑2）输出到下级处理电路，参考信号经T型结功率分配器(5)分成两路功率和相位相同的信号，分别与第四端口(1‑4)和第六端口(1‑6)的两路待测信号经第一T型结功率合成器(4‑1)和第二T型结功率合成器(4‑2)进行功率合成；第三间接加热式微波功率传感器（3‑3）和第四间接加热式微波功率传感器（3‑4）对左右两路合成后的功率Pcs1，Pcs2进行检测；其中，六端口固支梁耦合器（1）的结构以其中心线左右对称设置，由共面波导（8），介质层（10），空气层（12）和固支梁（11）构成；共面波导（8）制作在SiO2层（7）上，SiO2层（7）制作在Si衬底（6）上，固支梁（11）的锚区（9）制作在共面波导（8）上，固支梁（11）的下方沉积介质层（10），并与空气层（12）、固支梁（11）共同构成耦合电容结构，两个固支梁（11）之间的共面波导（8）长度为λ/4。