[发明专利]固支梁直接加热式微波信号检测器

摘要

本发明的固支梁直接加热式微波信号检测器由六端口固支梁耦合器，通道选择开关，微波频率检测器，微波相位检测器，直接加热式微波功率传感器级联构成；六端口固支梁耦合器由共面波导，介质层，空气层和固支梁构成；六端口固支梁耦合器的第一端口到第三端口、第四端口及到第一端口到第五端口、第六端口的功率耦合度分别相同，待测信号经第一端口输入，并由第二端口输出直接加热式微波功率传感器，由第四端口，第六端口输出微波相位检测器，由第三端口，第五端口输出到通道选择开关；通道选择开关的第七端口和第八端口接直接加热式微波功率传感器，通道选择开关的第九端口，第十端口接微波频率检测器；实现了对微波信号的功率、相位、频率同时检测。

主权项

1.一种固支梁直接加热式微波信号检测器，其特征在于该微波信号检测器由六端口固支梁耦合器（1），通道选择开关（2），微波频率检测器（3），微波相位检测器（4），第一直接加热式微波功率传感器（5‑1），第二直接加热式微波功率传感器（5‑2）和第三直接加热式微波功率传感器（5‑3）级联构成；其中，六端口固支梁耦合器（1）的第一端口（1‑1）到第三端口（1‑3）、第四端口（1‑4）以及第一端口（1‑1）到第五端口（1‑5）、第六端口（1‑6）的功率耦合度相同，待测信号经第一端口（1‑1）输入，并由第二端口（1‑2）输出到第一直接加热式微波功率传感器（5‑1），由第四端口（1‑4）和第六端口（1‑6）输出到微波相位检测器（4），参考信号经Wilkinson功率分配器(7)分成两路功率和相位相同的信号与第四端口(1‑4)和第六端口(1‑6)的两路待测信号经第一Wilkinson功率合成器(6‑1)和第二Wilkinson功率合成器(6‑2)进行功率合成，第四直接加热式微波功率传感器（5‑4）和第五直接加热式微波功率传感器（5‑5）对左右两路合成后的功率进行检测；由第三端口（1‑3）和第五端口（1‑5）输出到通道选择开关（2）；通道选择开关（2）的第七端口（2‑1）和第八端口（2‑2）分别接第二直接加热式微波功率传感器（5‑2）和第三直接加热式微波功率传感器（5‑3）；通道选择开关（2）的第九端口（2‑3）和第十端口（2‑4）接微波频率检测器（3）的第三Wilkinson功率合成器（6‑3），并第三Wilkinson功率合成器（6‑3）接第六直接加热式微波功率传感器（5‑6），从而实现了对微波信号功率、相位、频率的检测；其中，六端口固支梁耦合器（1）由共面波导（10），介质层（12），空气层（15）和横跨在其上方固支梁（13）构成；共面波导（10）制作在SiO2层（9）上，固支梁（13）的锚区（11）制作在共面波导（10）上，固支梁（13）的下方沉积有介质层（12），并与空气层（15）、固支梁（13）共同构成耦合电容结构，两个固支梁（13）之间的共面波导（10）长度为λ/4。