[发明专利]悬臂梁T形结在线式微波相位检测器在审
| 申请号： | 201710052722.5 | 申请日： | 2017-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN106645922A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 廖小平;严德洋 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R21/02 | 分类号： | G01R21/02;G01R25/00;G01R15/00 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 悬臂梁T形结在线式微波相位检测器，检测器制备在高阻硅衬底上，由共面波导传输线、两个关于共面波导传输线的信号线对称的悬臂梁结构、T形结以及两个间接热电式微波功率传感器所构成。其中共面波导传输线包括信号线和地线；悬臂梁结构包括悬臂梁的梁和锚区，悬于共面波导传输线的信号线上的介质层上方；T型结包括共面波导传输线的信号线、地线以及空气桥构成；间接热电式微波功率传感器包括终端电阻、金属热偶臂、半导体热偶臂、欧姆接触区和直流输出块。本发明检测器结构简单，电路尺寸较小，可实现微波相位的在线式检测。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂梁 在线 式微 相位 检测器 | ||
【主权项】：
一种悬臂梁T形结在线式微波相位检测器，其特征是在高阻硅衬底(1)上制作SiO2层(26)，在SiO2层(26)上设有共面波导传输线、两个关于共面波导传输线的信号线(2)对称的悬臂梁结构1和悬臂梁结构2、T形结以及间接热电式微波功率传感器1和间接热电式微波功率传感器2，所述的共面波导传输线由信号线(2)和地线(3)构成，所述的悬臂梁结构1由悬臂梁结构1的悬臂梁(4)和锚区(5)构成，悬臂梁结构2由悬臂梁结构2的悬臂梁(6)和锚区(7)构成，悬臂梁结构1和悬臂梁结构2悬于共面波导传输线的信号线(2)上的绝缘介质层(8)的上方，共面波导传输线的信号线(2)上侧的悬臂梁结构1的锚区(5)通过间接热电式微波功率传感器1的共面波导传输线的信号线(14)连接间接热电式微波功率传感器1，共面波导传输线的信号线(2)下侧的悬臂梁结构2的锚区(7)通过T形结的第一共面波导传输线的信号线(18)连接T形结的一个输入端，另一个输入端通过T形结的第二共面波导传输线的信号线(19)连接参考信号输入端口，T形结输出端通过共面波导传输线的信号线(20)连接间接热电式微波功率传感器2。
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