[发明专利]T形结缝隙耦合在线式微波相位检测器在审
申请号: | 201710052743.7 | 申请日: | 2017-01-24 |
公开(公告)号: | CN106771606A | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 廖小平;严德洋 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | G01R25/00 | 分类号: | G01R25/00 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249 | 代理人: | 杨晓玲 |
地址: | 211189 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明的T形结缝隙耦合在线式微波相位检测器,检测器制备在高阻硅衬底上,由共面波导传输线、两个缝隙结构、T形结以及两个直接加热式微波功率传感器所构成。在微波信号传输的共面波导传输线的信号线两侧对称设置有两个缝隙结构,上侧的缝隙结构连接着直接加热式微波功率传感器,主要用于检测耦合出的信号的功率大小。由于上下耦合结构对称,所以耦合出的信号功率大小、相位等完全相等。下侧的缝隙结构连接着T形结以及直接加热式微波功率传感器,通过矢量合成法实现微波相位的在线式检测。本发明的创新之处在于利用缝隙结构实现了微波信号相位的在线式检测,并且由于耦合出的信号相比于待测信号而言小得多,因此对该微波信号影响不大。 | ||
搜索关键词: | 缝隙 耦合 在线 式微 相位 检测器 | ||
【主权项】:
一种T形结缝隙耦合在线式微波相位检测器,其特征是在高阻硅衬底(1)上制作SiO2层(21),在SiO2层(21)上设有共面波导传输线、关于共面波导传输线的信号线(2)对称的缝隙结构(4)和缝隙结构(5)、T形结以及直接加热式微波功率传感器1和直接加热式微波功率传感器2,所述的共面波导传输线由共面波导传输线的信号线(2)和地线(3)构成,共面波导传输线的信号线(2)上侧的缝隙结构(4)通过直接加热式微波功率传感器1的共面波导传输线的信号线(10)连接直接加热式微波功率传感器1,下侧的缝隙结构(5)通过T形结的第一共面波导传输线的信号线(14)连接T形结的一个输入端,另一个输入端通过T形结的第二共面波导传输线的信号线(15)连接参考信号输入端口,T形结的输出端口通过T形结的第三共面波导传输线的信号线(16)连接直接加热式微波功率传感器2。
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