[发明专利]T形结固支梁耦合在线式微波相位检测器在审
| 申请号： | 201710052746.0 | 申请日： | 2017-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN106771608A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 廖小平;严德洋 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R25/00 | 分类号： | G01R25/00 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | T形结固支梁耦合在线式微波相位检测器，检测器制备在高阻硅衬底上，由共面波导传输线、固支梁结构、T形结以及两个直接加热式微波功率传感器所构成。其中共面波导传输线包括共面波导传输线的信号线和地线；固支梁结构包括固支梁和锚区，悬于共面波导传输线的信号线上的介质层上方；T形结由共面波导传输线的信号线、地线以及空气桥构成；直接加热式微波功率传感器包括终端电阻、半导体热偶臂、直流输出块和隔绝直流电容。本发明检测器结构简单，电路尺寸较小，可实现微波相位的在线式检测。 | ||
| 搜索关键词： | 形结固支梁 耦合 在线 式微 相位 检测器 | ||
【主权项】：
一种T形结固支梁耦合在线式微波相位检测器，其特征是在高阻硅衬底(1)上制作SiO2层(23)，在SiO2层(23)上设有共面波导传输线、固支梁结构、T形结以及直接加热式微波功率传感器1和直接加热式微波功率传感器2，所述的共面波导传输线由共面波导传输线的信号线(2)和地线(3)构成，所述的固支梁结构包括固支梁(4)、第一锚区(5)和第二锚区(6)，固支梁结构悬于共面波导传输线的信号线(2)上的绝缘介质层(7)的上方，固支梁结构的第一锚区(5)通过直接加热式微波功率传感器1的共面波导传输线的信号线(12)连接直接加热式微波功率传感器1，第二锚区(6)通过T形结的第一共面波导传输线的信号线(16)连接T形结的一个输入端口，另一个输入端口通过T形结的第二共面波导传输线的信号线(17)连接到参考信号输入端口，T形结的输出端通过T形结的第三共面波导传输线的信号线(18)连接直接加热式微波功率传感器2。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东南大学，未经东南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710052746.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
