[发明专利]用于表面异物检测的自动光学检测系统在审
申请号: | 201710054592.9 | 申请日: | 2017-01-22 |
公开(公告)号: | CN108303431A | 公开(公告)日: | 2018-07-20 |
发明(设计)人: | 林伯聪;陈延松 | 申请(专利权)人: | 由田新技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95 |
代理公司: | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人: | 王立民;张应 |
地址: | 中国台湾新北市中*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种用于表面异物检测的自动光学检测系统,用以检测面板表面的异物分布,该自动光学检测系统包括有一高指向性光源装置、以及一影像撷取装置。该高指向性光源装置水平设置于该面板的一侧,提供一高指向性光束,经过该面板的上表面或下表面。该影像撷取装置设置于该面板的一侧,用以拍摄该面板以获得一面板影像,并将该面板影像传送至一检测装置,借由该检测装置影像分析该面板影像,以检测该面板上的异物分布。 | ||
搜索关键词: | 自动光学检测系统 影像撷取装置 检测 指向性光源 表面异物 检测装置 面板影像 异物 面板表面 影像分析 装置水平 上表面 下表面 指向性 影像 传送 拍摄 | ||
【主权项】:
1.一种用于表面异物检测的自动光学检测系统,用以检测面板表面的异物分布,其特征在于,该自动光学检测系统包括:一高指向性光源装置,水平设置于该面板的一侧,提供一高指向性光束,经过该面板的上表面或下表面;以及一影像撷取装置,设置于该面板的一侧,用以拍摄该面板以获得一面板影像,并将该面板影像传送至一检测装置,借由该检测装置影像分析该面板影像,以检测该面板上的异物分布。
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