[发明专利]一种具有超晶格限制层的AlGaInP半导体激光器有效
申请号: | 201710054607.1 | 申请日: | 2017-01-24 |
公开(公告)号: | CN108346972B | 公开(公告)日: | 2020-09-18 |
发明(设计)人: | 徐现刚;朱振;张新 | 申请(专利权)人: | 山东华光光电子股份有限公司 |
主分类号: | H01S5/34 | 分类号: | H01S5/34;H01S5/343;H01S5/20 |
代理公司: | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人: | 杨树云 |
地址: | 250101 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明涉及一种具有超晶格限制层的AlGaInP半导体激光器,从下至上依次包括衬底、下限制层、下波导层、量子阱层、上波导层、第一上限制层、第二上限制层和欧姆接触层;第一上限制层为高铝组分的AlGaInP材料与低铝组分的AlGaInP材料交替生长的超晶格结构,所述第一上限制层中,高铝组分的AlGaInP材料的掺杂材料为Mg,低铝组分的AlGaInP材料的掺杂材料为Mg,第二上限制层为高铝组分的AlGaInP材料,第二上限制层的掺杂材料为Mg。本发明使用高掺杂的第一上限制层及第二上限制层,可以降低外延层的串联电阻,减少焦耳热的产生,提高了光电转换效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 晶格 限制 algainp 半导体激光器 | ||
【主权项】:
1.一种具有超晶格限制层的AlGaInP半导体激光器,从下至上依次包括衬底、下限制层、下波导层、量子阱层、上波导层、第一上限制层、第二上限制层和欧姆接触层;其特征在于,所述第一上限制层为高铝组分的AlGaInP材料与低铝组分的AlGaInP材料交替生长的超晶格结构,所述第一上限制层中,高铝组分的AlGaInP材料的掺杂材料为Mg,低铝组分的AlGaInP材料的掺杂材料为Mg,所述第二上限制层为高铝组分的AlGaInP材料,所述第二上限制层的掺杂材料为Mg。
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