[发明专利]压力传感器有效
申请号: | 201710056369.8 | 申请日: | 2017-01-25 |
公开(公告)号: | CN107024321B | 公开(公告)日: | 2019-09-17 |
发明(设计)人: | 泷本和哉 | 申请(专利权)人: | 株式会社鹭宫制作所 |
主分类号: | G01L19/14 | 分类号: | G01L19/14 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 丁文蕴;严星铁 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的目的在于提供一种压力传感器,其为将压力检测元件通过粘接剂而固定于支撑部件的压力传感器,能够减小因温度变化而引起的压力检测元件的变形,实现精度的提高及温度响应性的改善。本发明的压力传感器(100)的特征在于,具备:对流体的压力进行检测的压力检测元件(126);支撑压力检测元件(126)的支撑部件(325);以及粘接固定压力检测元件(126)与支撑部件(325)的粘接剂,在由粘接剂构成的粘接剂层(325A)的面上设置作为与支撑部件(325)的一部分配合的多个凹凸部的热应力减小构造(325Aa)。 | ||
搜索关键词: | 压力传感器 | ||
【主权项】:
1.一种压力传感器,其具备:对流体的压力进行检测的压力检测元件;支撑上述压力检测元件的支撑部件;以及粘接固定上述压力检测元件与上述支撑部件的粘接剂,上述压力传感器的特征在于,在由上述粘接剂构成的粘接剂层的至少一个面上设置作为与上述支撑部件或上述压力检测元件的一部分配合的多个凹凸部的上述粘接剂层的热应力减小构造,上述粘接剂层的收缩或者膨胀被多个凹凸部的上述粘接剂层的热应力减小构造卡住,从而减少上述压力检测元件的变形。
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