[发明专利]蚀刻高浓度废液回收再利用的处理系统及方法

摘要

本发明公开了蚀刻高浓度废液回收再利用的处理系统及方法，包括四阶段处理系统，所述四阶段处理系统包括通过泵依次连接的第一阶段处理系统、第二阶段处理系统、第三阶段处理系统和第四阶段处理系统，处理方法包括第一阶段硅酸钠、第二阶段氟化钙、第三阶段硝酸钠和第四阶段热回收，本发明设计合理，能实现废液中的氟离子和硝酸根离子的彻底资源化回收，对现有环境零负担。

主权项

蚀刻高浓度废液回收再利用的处理系统，其特征在于：包括四阶段处理系统，所述四阶段处理系统包括通过泵依次连接的第一阶段处理系统、第二阶段处理系统、第三阶段处理系统和第四阶段处理系统；所述第一阶段处理系统包括通过泵依次连接的现有池、调整槽‑Ⅰ、反应槽‑Ⅰ、产品脱水机‑Ⅰ、收集槽‑Ⅰ、中和槽‑Ⅰ、中和槽‑Ⅱ和收集槽‑Ⅱ，所述收集槽‑Ⅰ与所述反应槽‑Ⅰ连接，所述产品脱水机‑Ⅰ与干燥机关联，所述反应槽‑Ⅰ与NaOH药槽连接，所述NaOH药槽与加药机连接，所述NaOH药槽与NaOH泡药桶通过加药机连接，所述调整槽‑Ⅰ与调整槽‑Ⅱ并联，所述收集槽‑Ⅰ与收集槽‑Ⅱ并联，所述反应槽‑Ⅰ与所述收集槽‑Ⅱ通过产品脱水机‑Ⅱ连接，所述调整槽‑Ⅰ与所述反应槽‑Ⅰ之间设有耐酸碱泵，所述反应槽‑Ⅰ与所述产品脱水机‑Ⅰ之间、所述反应槽‑Ⅰ与所述产品脱水机‑Ⅱ之间、所述收集槽‑Ⅰ与所述中和槽‑Ⅰ之间、所述收集槽‑Ⅱ与所述中和槽‑Ⅰ之间设有耐酸碱气动隔膜泵；所述第二阶段处理系统包括通过泵依次连接的调整槽‑Ⅲ、反应槽‑Ⅱ、产品脱水机‑Ⅲ和收集槽‑Ⅳ，所述产品脱水机‑Ⅲ与所述干燥机关联，所述收集槽‑Ⅳ与所述调整槽‑Ⅲ连接，所述反应槽‑Ⅱ与反应槽‑Ⅲ并联，所述泵为耐酸碱气动隔膜泵；所述第三阶段处理系统包括依次连接的调整槽‑Ⅳ、MVR设备、降温槽、结晶槽、产品脱水机‑Ⅳ和收集槽‑Ⅴ，所述收集槽‑Ⅴ与所述调整槽‑Ⅲ连接，所述所述收集槽‑Ⅳ与所述结晶槽连接，所述产品脱水机‑Ⅳ与所述干燥机关联，所述降温槽与所述结晶槽之间、所述结晶槽与所述产品脱水机‑Ⅳ之间、所述收集槽‑Ⅴ与所述结晶槽和所述调整槽‑Ⅲ之间设有耐酸碱气动隔膜泵；所述第四阶段处理系统包括MVR设备、循环槽‑Ⅰ、循环槽‑Ⅱ和放流槽，所述MVR设备连接循环槽‑Ⅰ、循环槽‑Ⅱ和放流槽，所述MVR设备与所述循环槽‑Ⅰ形成内部循环，所述MVR设备与所述循环槽‑Ⅱ形成内部循环，所述循环槽‑Ⅰ和循环槽‑Ⅱ通过耐酸碱气动隔膜泵与热水回用装置连接，所述放流槽通过耐酸碱气动隔膜泵与回用装置和纯水用蓄水池连接，所述MVR设备与所述调整槽‑Ⅰ和调整槽‑Ⅱ连接，所述回用装置与所述NaOH泡药桶连接，所述放流槽与所述纯水用蓄水池之间、所述循环槽‑Ⅰ与所述热水回用装置之间、所述循环槽‑Ⅱ与所述热水回用装置之间设有耐酸碱气动隔膜泵，所述循环泵‑Ⅰ与所述MVR设备之间、所述循环槽‑Ⅱ与所述MVR设备之间设有水泵；所述耐酸碱气动隔膜泵通过五口二位阀与空压机连接。