[发明专利]结合显微成像的多波长样品光限幅性能的测量装置和测量方法

摘要

一种结合显微成像的多波长样品光限幅性能的测量装置，包括飞秒激光器、OPA装置、镀膜全反镜Ⅱ、光阑Ⅰ、光阑Ⅱ、安装在电动旋转台上的格兰泰勒棱镜Ⅰ、格兰泰勒棱镜Ⅱ、镀膜全反射镜、照明光源、分束镜Ⅰ、镀膜全反射镜Ⅳ、分束镜Ⅱ、聚焦透镜Ⅰ、能量计Ⅰ、聚焦物镜、收集物镜、分束镜Ⅲ、聚焦透镜Ⅱ、能量计Ⅱ、CCD和计算机。本发明实现样品宽谱光限幅特性测量，且可以观察到光限幅样品表面形貌，入射激光的光斑尺寸以及激光照射后的样品损伤情况，具有自动测量，调节灵活方便，测试动态范围宽，响应速度高效灵敏的特点。

主权项

一种结合显微成像的多波长样品光限幅性能的测量装置，其特征是：包括飞秒激光器(1)、OPA装置(2)、镀膜全反镜Ⅱ(5)、光阑Ⅰ(6)、光阑Ⅱ(7)、安装在电动旋转台(9)上的格兰泰勒棱镜Ⅰ(8)、格兰泰勒棱镜Ⅱ(10)、镀膜全反射镜(11)、照明光源(12)、分束镜Ⅰ(13)、镀膜全反射镜Ⅳ(14)、分束镜Ⅱ(15)、聚焦透镜Ⅰ(16)、能量计Ⅰ(17)、聚焦物镜(18)、收集物镜(20)、分束镜Ⅲ(21)、聚焦透镜Ⅱ(22)、能量计Ⅱ(23)、CCD(24)和计算机(25)；沿所述的飞秒激光器(1)的出射光方向依次放置有所述的OPA装置(2)、光阑Ⅰ(6)、光阑Ⅱ(7)、格兰泰勒棱镜Ⅰ(8)、格兰泰勒棱镜Ⅱ(10)、镀膜全反射镜(11)、照明光源(12)和分束镜Ⅰ(13)，沿该分束镜Ⅰ(13)的透射光路依次放置有所述的镀膜全反射镜Ⅳ(14)和分束镜Ⅱ(15)，沿该分束镜Ⅱ(15)的透射光路依次放置有聚焦物镜(18)、样品(19)、收集物镜(20)和分束镜Ⅲ(21)，沿该分束镜Ⅱ(15)的反射光路依次放置所述的聚焦透镜Ⅰ(16)和能量计Ⅰ(17)，沿所述的分束镜Ⅲ(21)的透射光路放置所述的CCD(24)，沿该分束镜Ⅲ(21)的反射光路依次放置有所述的聚焦透镜Ⅱ(22)和能量计Ⅱ(23)，所述的照明光源(12)的出射光以45°角入射至所述的分束镜Ⅰ(13)；所述的飞秒激光器(1)和电动旋转台(6)分别经控制器连接至计算机(25)，所述的OPA装置(2)和照明光源(12)分别与计算机(25)相连，所述的能量计Ⅰ(17)和能量计Ⅱ(23)分别经表头连接至计算机(25)。