[发明专利]显示基板的制作方法、显示基板及显示装置

摘要

一种显示基板的制作方法、显示基板及显示装置，该显示基板的制作方法包括通过掩模板对光刻胶层进行第一次曝光；将掩模板沿行方向移动至少一个第一节距和/或沿列方向移动至少一个第二节距后，通过掩模板对光刻胶层进行第二次曝光；对光刻胶层进行显影，以形成具有多个开口结构的图案。利用该显示基板的制作方法可以制作黑矩阵，即使制作黑矩阵的掩模板有污染或轻微损伤，也不会产生固定位置缺失的不良现象，可以很好的解决黑矩阵在像素区或边框区产生的漏光或亮点问题，从而有效减少了嫁动损失并提升了加工过程中黑矩阵的良率。

主权项

1.一种显示基板的制作方法，包括：在衬底基板上涂敷光刻胶层；通过掩模板对所述光刻胶层进行第一次曝光，其中，所述掩模板包括透光部以及多个遮光部，所述多个遮光部沿行方向和列方向排列成阵列，所述遮光部在所述行方向上排列的节距为第一节距，所述遮光部在所述列方向上排列的节距为第二节距；对所述光刻胶层进行显影，以形成具有多个开口结构的图案；其特征在于，对所述光刻胶层进行显影前还包括：将所述掩模板沿所述行方向移动至少一个所述第一节距和/或沿所述列方向移动至少一个所述第二节距后，通过所述掩模板对所述光刻胶层进行第二次曝光。