[发明专利]用于微波等离子体环境的微球驱动装置

摘要

本发明公开了一种用于微波等离子体环境的微球驱动装置，涉及涂层制备技术领域，采用的技术方案是：用于微波等离子体环境的微球驱动装置，包括拨杆、微球盘、真空驱动电机、铜座和微波屏蔽腔板，拨杆和微球盘为石英玻璃材质，拨杆由直杆和圆环构成，圆环用于放置微球盘，直杆连接真空驱动电机；铜座的顶部设置圆槽，放置于圆环内的微球盘位于圆槽内，铜座的下方为微波屏蔽腔板，铜座和真空驱动电机分别位于微波屏蔽腔板的上下侧。微球驱动装置放于微波等离子体化学气相沉积系统内使用，真空驱动电机驱动微球盘内的微球随机运动，实现均匀涂层。微球驱动装置结构简单，使用方便，避免了微球驱动装置与微波电磁场间的相互干扰，提高了涂层质量。

主权项

1.用于微波等离子体环境的微球驱动装置，其特征在于：包括拨杆(1)、微球盘(2)、真空驱动电机(3)、铜座(4)和微波屏蔽腔板(5)，所述拨杆(1)和微球盘(2)均为石英玻璃材质，拨杆(1)由直杆(11)和圆环(12)构成，其中圆环(12)连接于直杆(11)的一端，圆环(12)所在平面与直杆(11)相互垂直，圆环(12)内放置所述微球盘(2)，直杆(11)的另一端连接所述真空驱动电机(3)，真空驱动电机(3)通过固定支架(31)安装固定；所述铜座(4)的顶部设置圆槽(41)，圆槽(41)上方为所述拨杆(1)的圆环(12)，放置于圆环(12)内的微球盘(2)的底部位于圆槽(41)内，铜座(4)的下方为所述微波屏蔽腔板(5)，微波屏蔽腔板(5)中部设置安装通孔(51)，微波屏蔽腔板(5)上设置至少一个通气孔(52)，通气孔(52)上下贯穿微波屏蔽腔板(5)，微波屏蔽腔板(5)上还设置用于安装固定的紧固螺纹孔(53)，拨杆(1)的直杆(11)穿过微波屏蔽腔板(5)的通气孔(52)，所述铜座(4)和真空驱动电机(3)分别位于所述微波屏蔽腔板(5)的上下侧。