[发明专利]晶圆切片机及其轮组结构与晶圆切片的方法

摘要

一种晶圆切片机及其轮组结构，该晶圆切片机包含进给单元和轮组结构，该轮组结构用于带动切割线切割晶棒，并包含间隔设置的两个主辊轮及至少一个辅助辊轮。定义一个通过该主辊轮的旋转中心轴的水平面，及两个分别通过该旋转中心轴且垂直该水平面的垂直面。该辅助辊轮直径小于任一个主辊轮直径的一半。该辅助辊轮位于该水平面上方且介于该垂直面间，且最高位置不低于该主辊轮的最高位置。该主辊轮与该辅助辊轮用于供该切割线绕设于其上以形成组线网，该组线网随该主辊轮与该辅助辊轮来回摆动以切割该晶棒。本发明能提供该切割线适度的支撑，减少切割线的晃动，达到较高的切片精度，又能避免对切割后的晶棒产生干涉。本发明另提供晶圆切片的方法。

主权项

一种晶圆切片机的轮组结构，能供一条切割线设置，并用于带动该切割线切割一个晶棒，其特征在于：该晶圆切片机的轮组结构包含：两个主辊轮，所述主辊轮水平间隔设置，定义一个通过所述主辊轮的旋转中心轴的水平面，及两个分别通过所述旋转中心轴且垂直该水平面的垂直面；及至少一个辅助辊轮，直径小于任一个主辊轮直径的一半，并与所述主辊轮平行间隔设置，该辅助辊轮位于该水平面上方且介于所述垂直面间，并且该辅助辊轮的最高位置不低于所述主辊轮的最高位置，所述主辊轮与该辅助辊轮用于供该切割线绕设于其上以形成一组线网，该组线网随所述主辊轮与该辅助辊轮来回摆动以切割该晶棒。