[发明专利]快门装置及其控制方法、光刻机及其曝光剂量控制方法有效
| 申请号： | 201710061013.3 | 申请日： | 2017-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN108345157B | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 蒋志勇;章富平;王彦飞 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03B9/08 | 分类号： | G03B9/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种快门装置及其控制方法、光刻机及其曝光剂量控制方法，该快门装置包括：挡光单元和音圈电机，音圈电机包括永磁模块、驱动导轨模块和线圈结构，所述驱动导轨模块和所述线圈结构设置在所述永磁模块中间，所述线圈结构设置在所述驱动导轨模块上，所述永磁模块在所述驱动导轨模块内部产生磁场，所述线圈结构通电后产生与所述驱动导轨模块磁场方向相反或相同的磁场，使其沿所述驱动导轨模块往复运动，所述挡光单元包括两组快门叶片，所述快门叶片与所述线圈结构连接。本发明通过设置音圈电机，使音圈电机的线圈结构直接与挡光单元连接，大大减小了快门叶片的开闭时间，进而提高了小剂量曝光产率，提高了单位时间内的光源利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动导轨 线圈结构 挡光 快门叶片 快门装置 音圈电机 永磁模块 曝光剂量 光刻机 磁场 光源利用率 磁场方向 单元连接 小剂量 产率 减小 开闭 两组 电机 通电 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种快门装置，其特征在于，包括：挡光单元和音圈电机，其中，所述音圈电机包括永磁模块、驱动导轨模块和线圈结构，所述驱动导轨模块和所述线圈结构设置在所述永磁模块中间，所述线圈结构设置在所述驱动导轨模块上，所述永磁模块在所述驱动导轨模块内部产生磁场，所述线圈结构通电后产生与所述驱动导轨模块磁场方向相反或相同的磁场，使其沿所述驱动导轨模块往复运动，所述挡光单元包括两组快门叶片，所述快门叶片与所述线圈结构连接。
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