[发明专利]具有外质装置区无沟槽隔离的双极性接面晶体管有效
申请号: | 201710061621.4 | 申请日: | 2017-01-26 |
公开(公告)号: | CN107026196B | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | R·玛拉迪;R·卡米洛-卡斯蒂洛 | 申请(专利权)人: | 格罗方德半导体公司 |
主分类号: | H01L29/737 | 分类号: | H01L29/737;H01L21/331 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;王锦阳 |
地址: | 英属开曼群*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及具有外质装置区无沟槽隔离的双极性接面晶体管,其揭示装置结构及用于装置结构的制造方法。在衬底中形成一或多个沟槽隔离区以围绕装置区。在该装置区上形成基极层。在该基极层上形成第一与第二发射极指。该装置区自该第一发射极指延展至该第二发射极指的第一部分无介电材料。 | ||
搜索关键词: | 具有 装置 沟槽 隔离 极性 晶体管 | ||
【主权项】:
一种使用衬底形成的装置结构,该装置结构包含:位在该衬底中的一或多个沟槽隔离区,该一或多个沟槽隔离结构围绕装置区;位在该装置区上的基极层;以及位在该基极层上呈相隔关系的第一发射极指及第二发射极指,其中,在该装置区中该装置区自该第一发射极指延展至该第二发射极指的第一部分无介电材料。
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