[发明专利]应变感测装置及其制造方法在审
| 申请号： | 201710061700.5 | 申请日： | 2017-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN108362199A | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 蔡明志;何羽轩 | 申请（专利权）人： | 华邦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/16 | 分类号： | G01B7/16 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马雯雯;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种应变感测装置及其制造方法。应变感测装置包括衬底与至少一感测电极。衬底具有多个孔洞。至少一感测电极位于衬底上，其中与衬底接触的感测电极延伸至衬底的多个孔洞中。至少一感测电极具有平行于衬底的表面的长轴。由于感测电极延伸至衬底的多个孔洞中，故感测电极与衬底之间可具有良好的附着性，进而可提高应变感测装置的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 感测电极 应变感测装置 孔洞 衬底接触 准确度 附着性 延伸 长轴 平行 制造 | ||
【主权项】：
1.一种应变感测装置，其特征在于，所述感测装置包括：衬底，具有多个孔洞；以及至少一感测电极，位于所述衬底上，其中与所述衬底接触的感测电极延伸至所述衬底的所述多个孔洞中，且所述至少一感测电极具有平行于所述衬底的表面的长轴。
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