[发明专利]竖直插入式阻挡脚及伯努利吸盘有效
申请号: | 201710062833.4 | 申请日: | 2017-01-25 |
公开(公告)号: | CN108346607B | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 刘源;林洋 | 申请(专利权)人: | 上海新昇半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/683 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 201306 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种竖直插入式阻挡脚及伯努利吸盘,包括:支撑盘,支撑盘内沿其厚度方向设有通孔,通孔包括第一部分及位于第一部分下方且与第一部分相连通的第二部分;阻挡脚,适于插入至支撑盘的通孔内,阻挡脚包括支撑部及位于支撑部下方且与支撑部的底部相连接的阻挡部;支撑部的宽度大于通孔第二部分的宽度且小于或等于通孔第一部分的宽度;阻挡部的宽度小于或等于通孔第二部分的宽度,且阻挡部沿支撑盘厚度方向的尺寸大于通孔第二部分沿支撑盘厚度方向的高度。竖直插入式阻挡脚由于采用竖直插入式结构,在将其用于伯努利吸盘时,操作安装方便,不易造成阻挡脚的损坏。 | ||
搜索关键词: | 竖直 插入 阻挡 伯努利 吸盘 | ||
【主权项】:
1.一种竖直插入式阻挡脚,其特征在于,所述竖直插入式阻挡脚包括:支撑盘,所述支撑盘内沿其厚度方向设有通孔,所述通孔包括第一部分及位于所述第一部分下方且与所述第一部分相连通的第二部分;阻挡脚,适于插入至所述支撑盘的所述通孔内,所述阻挡脚包括支撑部及位于所述支撑部下方且与所述支撑部的底部相连接的阻挡部;所述支撑部的宽度大于所述通孔第二部分的宽度且小于或等于所述通孔第一部分的宽度;所述阻挡部的宽度小于或等于所述通孔第二部分的宽度,且所述阻挡部沿所述支撑盘厚度方向的尺寸大于所述通孔第二部分沿所述支撑盘厚度方向的高度。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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