[发明专利]异质外延金刚石及其制备方法在审
| 申请号： | 201710062928.6 | 申请日： | 2017-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN106835274A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 郁万成;金鹏;张烨;王占国 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C30B29/04 | 分类号： | C30B29/04;C30B25/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 曹玲柱 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种异质外延金刚石及其制备方法。该异质外延金刚石包括异质衬底；石墨烯柔性层，制备于异质衬底上；金刚石层，外延生长于石墨烯柔性层上；其中，石墨烯柔性层作为异质衬底上生长金刚石的柔性中间层。本发明利用石墨烯作为外延金刚石的模板和过渡缓冲层，消除了由于异质衬底与金刚石间晶格失配造成的外延金刚石质量降低。 | ||
| 搜索关键词： | 外延 金刚石 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种异质外延金刚石，其特征在于，包括：异质衬底(1)；石墨烯柔性层(2)，制备于所述异质衬底(1)上；金刚石层(3)，外延生长于所述石墨烯柔性层(2)上；其中，所述石墨烯柔性层(2)作为异质衬底(1)上生长金刚石的柔性中间层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院半导体研究所，未经中国科学院半导体研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710062928.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
