[发明专利]一种纳米叠层导电薄膜的制备方法及应用

摘要

本发明属于半导体器件领域，具体涉及太阳能电池制造领域，尤其涉及结合原子层沉积技术制备纳米叠层透明的导电薄膜的制备方法和在太阳能电池表面钝化及电流收集中的应用。针对现有的PERC电池技术的工艺流程，采用原子层沉积技术制备的金属氧化物纳米叠层导电薄膜作为钝化层，从而解决寄生电阻和接触电阻大的问题，提升电池转换效率，并且适用于大批量生产。

主权项

一种纳米叠层透明的导电薄膜的制备方法，其特征在于：采用原子层沉积技术进行制备，具体包括如下主要的步骤：(1)将去背结清洗过后的硅电池片装载进入镀膜的腔体，需镀膜的面在腔体内呈暴露状态，不需要镀膜的面进行遮挡；(2)腔体抽真空并保持腔体内的工艺真空不变，加热使腔体内的温度达到所需要的工艺温度；(3)循环1～200次Al2O3的沉积作为过渡层；(4)循环n1次ZnO的沉积，循环n2次Al2O3的沉积，其中n1、n2均为非零正整数；(5)重复步骤(4)，直到制备出所需厚度的纳米叠层导电薄膜；(6)腔体直接降温或增加退火步骤后降温，破真空，取出硅电池片。