[发明专利]夹持工件的真空夹盘、测量装置和检测晶片等工件的方法有效
| 申请号： | 201710063484.8 | 申请日： | 2017-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN107064195B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | W·沃尔斯;P·布斯 | 申请（专利权）人： | 赫尔穆特费舍尔股份有限公司电子及测量技术研究所 |
| 主分类号： | G01N23/223 | 分类号： | G01N23/223;H01L21/683;B25B11/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 王丽军 |
| 地址： | 德国辛*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于夹持工件(19)、特别是晶片的真空夹盘，以及借助X光荧光辐射检测工件、特别是晶片的测量装置和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 夹持 工件 真空 测量 装置 检测 晶片 方法 | ||
【主权项】：
用于夹持工件(19)的真空夹盘，具有包括支撑表面(27)的夹持板(21)，具有布置在基体(33)上的至少一个吸力连接部，所述吸力连接部用于连接到负压装置，并且用于实现借助基体(33)接收的负压而将工件(19)夹持在夹持板(21)上，并且还具有布置在夹持板(21)中并且朝向支撑表面(27)开通的多个吸力槽(22，23，24，25，26)，所述支撑表面(27)具有多个同心的吸力槽(22至26)，吸力槽具有至少一个吸力开口(35)，所述吸力开口被连接负压管线或者所述吸力开口连接着工作通道(37，38，39，40，41)，其特征在于，每个吸力槽(22至26)具有单独的负压，该负压与相邻吸力槽(22至26)的负压彼此分开，并且负压由控制器(96)借助至少一个控制阀(91，92，93，94)选择性地控制，以便在相应的吸力槽(22至26)中供应相应的负压。
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