[发明专利]一种透明导电叠层和硅基异质结太阳能电池

摘要

本发明涉及太阳能电池技术领域。本发明公开了一种透明导电叠层和硅基异质结太阳能电池，透明导电叠层包括三层膜层结构、四层膜层结构、五层膜层结构或八层膜层结构；透明导电叠层的最底层为为硫化锌膜层，中间具有银或金或银合金或金合金膜层，最上层为透明导电氧化物膜层，其中所述硫化锌膜层与硅基异质结太阳能电池结构中的掺杂层直接接触，本发明的透明导电叠层在获得高的可见光透过率的情况下，比传统的透明导电氧化物膜层具有更低的方块电阻和更强的中远红外线的反射能力，这可提高硅基异质结太阳能电池的性能。

主权项

一种透明导电叠层，其特征在于：所述透明导电叠层为三层膜层结构、四层膜层结构、五层膜层结构或八层膜层结构；当透明导电叠层为三层膜层结构时，其从底面往上依次为硫化锌膜层、银或金或银合金或金合金膜层、透明导电氧化物膜层；当透明导电叠层为四层膜层结构时，其从底面往上依次为硫化锌膜层、银或金或银合金或金合金膜层、TiOx膜层或钛合金氧化物膜层或NiCrOx膜层、透明导电氧化物膜层；当透明导电叠层为四层膜层结构时，其从底面往上依次为硫化锌膜层、氧化锌基膜层、银或金或银合金或金合金膜层、透明导电氧化物膜层；当透明导电叠层为五层膜层结构时，其从底面往上依次为硫化锌膜层、氧化锌基膜层、银或金或银合金或金合金膜层、TiOx膜层或钛合金氧化物膜层或NiCrOx膜层、透明导电氧化物膜层；当透明导电叠层为八层膜层结构时，其从底面往上依次为硫化锌膜层、氧化锌基、银或金或银合金或金合金膜层、TiOx膜层或钛合金氧化物膜层或NiCrOx膜层、氧化锌基膜层、银或金或银合金或金合金膜层、TiOx膜层或钛合金氧化物膜层或NiCrOx膜层、透明导电氧化物膜层；其中，所述TiOx膜层中x≤2；NiCrOx膜层中x≤3。