[发明专利]RAMO4基板及其制造方法有效
| 申请号： | 201710066347.X | 申请日： | 2017-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN107119320B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 鹰巢良史;冈山芳央;石桥明彦;田代功;上田章雄;信冈政树;领木直矢 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/22 | 分类号： | C30B29/22;C30B29/64;C30B25/18;B24B1/00;B24B37/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 葛凡 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的课题在于提供更高品质的基板。解决方法为一种RAMO |
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| 搜索关键词： | ramo4 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种RAMO4基板，其是包含通式RAMO4所表示的单晶体的RAMO4基板，通式中，R表示选自Sc、In、Y和镧系元素中的一个或多个三价元素，A表示选自Fe(III)、Ga和Al中的一个或多个三价元素，M表示选自Mg、Mn、Fe(II)、Co、Cu、Zn和Cd中的一个或多个二价元素，所述RAMO4基板在至少一面具有外延生长面，所述外延生长面具有多个劈开面，所述多个劈开面有规则性分布且相互分离。
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