[发明专利]孔链电阻有效
| 申请号： | 201710068640.X | 申请日： | 2017-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN106803501B | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 朱冬慧;苗彬彬;苏庆 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种孔链电阻，在所述孔链电阻的外圈增加深槽环，该深槽环与孔链电阻形成闭合环，使测试结构与外界P型外延完全隔离。本发明能够有效实现孔链的横向隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 | ||
【主权项】：
1.一种孔链电阻，其特征在于：在所述孔链电阻的外圈增加深槽环，该深槽环与孔链电阻形成闭合环，通过深槽隔离来实现孔链电阻的横向隔离，使测试结构与外界P型外延层完全隔离，所述深槽环形成叉指状。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司，未经上海华虹宏力半导体制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710068640.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种逆导IGBT器件的制备方法
- 下一篇：CMOS气体传感器
