[发明专利]RAMO4基板

摘要

本发明的课题在于防止具有劈开性的RAMO₄基板的破坏。解决方法为一种RAMO₄基板，其包含含有通式RAMO₄所表示的单晶体(通式中，R表示选自Sc、In、Y和镧系元素中的一个或多个三价元素，A表示选自Fe(III)、Ga和Al中的一个或多个三价元素，M表示选自Mg、Mn、Fe(II)、Co、Cu、Zn和Cd中的一个或多个二价元素)的RAMO₄基材部，所述RAMO₄基材部在端部具有倾斜部。

主权项

1.一种RAMO4基板，其包含含有通式RAMO4所表示的单晶体的RAMO4基材部，通式中，R表示选自Sc、In、Y和镧系元素中的一个或多个三价元素，A表示选自Fe(III)、Ga和Al中的一个或多个三价元素，M表示选自Mg、Mn、Fe(II)、Co、Cu、Zn和Cd中的一个或多个二价元素，所述RAMO4基材部在端部具有倾斜部，所述RAMO4基材部的主面相对于所述单晶体的劈开面具有偏离角θ，所述倾斜部包括：相对于所述主面具有角度θ1的第1区域、和形成于比所述第1区域更外周侧且相对于所述主面具有角度θ2的第2区域，θ、θ1和θ2满足θ1＜θ＜θ2的关系。