[发明专利]卡盘工作台机构

摘要

提供一种卡盘工作台机构，简化密封环的更换作业而缩短维护时间。卡盘工作台机构(50)具有：卡盘工作台(51)，其对被加工物(W)进行吸引保持；旋转部(81)，其具有工作台安装面(82)；圆筒形状的固定轴(71)，其配设于卡盘工作台的旋转中心；以及旋转电动机(94)，其使旋转部在固定轴的周围旋转。在旋转部上以自由装拆的方式安装有覆盖固定轴的上端的环状的密封板(91)，在固定轴的上端形成有供密封环(75)安装的圆环形状的槽(73)。通过在旋转部上安装密封板而对密封板与固定轴的间隙进行密封，从而抑制固定轴内的空气的泄漏，通过将密封板从旋转部拆下，简化了密封环的更换作业。

主权项

一种卡盘工作台机构，其具有：卡盘工作台，其对被加工物进行吸引保持；以及旋转单元，在该旋转单元的上部安装该卡盘工作台，并且该旋转单元将该卡盘工作台支承为能够旋转，该卡盘工作台机构的特征在于，该旋转单元具有：圆筒形状的固定轴，其配设于旋转中心并在内部形成有流体路径；旋转部，其配设成能够围绕该固定轴的外周而旋转，在该旋转部的上部具有供卡盘工作台安装的环状的安装面；以及旋转电动机，其使该旋转部旋转，在该旋转部上以自由装拆的方式具有环状的密封板，该密封板覆盖该固定轴的上端并横跨至该旋转部的上表面而形成，该密封板的上表面是该卡盘工作台的安装面，在该固定轴的该上端形成有圆环形状的槽，在该槽内安装有密封环，将该密封板安装在该旋转部的上表面上并利用该密封板将该密封环按压在该固定轴的上端的该槽中而进行密封。