[发明专利]光阻涂布装置检测机构及光阻涂布机在审
| 申请号： | 201710071590.0 | 申请日： | 2017-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN106681105A | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 张瑞军 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司44304 | 代理人： | 孙伟峰;顾楠楠 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光阻涂布装置检测机构，包括支架，在支架上设有可转动的涂布平台，涂布平台通过中心轴连接在支架上，所述涂布平台的下方设有底盘，所述底盘上设有排水孔，在底盘上设有用于清洗涂布平台的清洗装置。本发明还提供了一种光阻涂布机，包括光阻涂布装置以及作业平台，还包括所述的光阻涂布装置检测机构，所述光阻涂布装置检测机构设于光阻涂布装置与作业平台之间。与现有技术相比，不仅能够缩短光阻涂布机的复机时间，提升设备产能，而且可重复使用，节省虚拟涂布基板，降低检测成本。 | ||
| 搜索关键词： | 光阻涂布 装置 检测 机构 光阻涂布机 | ||
【主权项】：
一种光阻涂布装置检测机构，其特征在于：包括支架(4)，在支架(4)上设有可转动的涂布平台(1)，涂布平台(1)通过中心轴连接在支架(4)上，所述涂布平台(1)的下方设有底盘(2)，所述底盘(2)上设有排水孔(3)，在底盘(2)上设有用于清洗涂布平台的清洗装置。
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