[发明专利]一种石英坩埚清洗装置在审
| 申请号： | 201710071676.3 | 申请日： | 2017-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN108405519A | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 刘福鸿;陈宝昌 | 申请（专利权）人： | 江苏华尔石英材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/093 | 分类号： | B08B9/093 |
| 代理公司： | 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 32274 | 代理人： | 邱兴天 |
| 地址： | 225600 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英坩埚清洗装置，包括箱体和位于箱体上方的罩部，罩部具有活动门，箱体上表面安装有基板，罩部内具有上圆环板、下圆环板、上L型臂和下L型臂，上L型臂安装在罩部顶部，下L型臂安装在液压缸的自由端上，液压缸安装在基板上，下圆环板固定在基板上，下圆环板上具有圆形导轨，上圆环板下表面具有与圆形导轨啮合的圆环形凹槽，基板上还安装有电机，电机轴上具有驱动所述上圆环板转动的摩擦辊；上L型臂的两个臂上均具有喷嘴，下L型臂的两个臂上均具有喷嘴；箱体内具有储液部和液体泵，每个喷嘴均与储液部连接。本发明的清洗装置清洗全面，且坩埚放置稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 罩部 上圆环板 喷嘴 下圆环 石英坩埚清洗 圆形导轨 储液部 液压缸 个臂 啮合 箱体上表面 圆环形凹槽 放置稳定 清洗装置 板固定 电机轴 活动门 摩擦辊 下表面 液体泵 自由端 坩埚 转动 电机 清洗 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种石英坩埚清洗装置，其特征在于，包括箱体和位于箱体上方的罩部，所述罩部具有活动门，所述箱体上表面安装有基板，所述罩部内具有上圆环板、下圆环板、上L型臂和下L型臂，所述上L型臂通过上L型臂支架安装在罩部顶部，所述下L型臂安装在液压缸的自由端上，所述液压缸安装在基板上，所述下圆环板通过下圆环板支架固定在所述基板上，所述下圆环板上具有圆形导轨，所述上圆环板下表面具有与所述圆形导轨啮合的圆环形凹槽，使得所述上圆环板能够在所述下圆环板上转动，所述上圆环板用于放置石英坩埚，所述基板上还安装有电机，所述电机轴上具有驱动所述上圆环板转动的摩擦辊；所述上L型臂的两个臂上均具有喷嘴，所述下L型臂的两个臂上均具有喷嘴；所述箱体内具有储液部和液体泵，每个喷嘴均与储液部连接。
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