[发明专利]一种平板针尖放电式等离子发生体在审
| 申请号： | 201710071717.9 | 申请日： | 2017-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN106686872A | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 张汉杰 | 申请（专利权）人： | 江苏升元菲尔科技发展有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H05H1/48 |
| 代理公司： | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙)11548 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 江苏省盐城市 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及等离子体技术领域，更具体的涉及一种平板针尖放电式等离子发生体，包括壳体、气源进口、气源出口和电极板，所述壳体的一侧设置有气源进口，其相对的另一侧设置有气源出口，所述壳体的内部空腔中设置有电极板；所述电极板包括接地电极板和高压电极板，两个接地电极板相对设置，高压电极板位于接地电极板之间，中间间隔开的区域形成等离子体发生区域,本发明在高压电极板两侧的接地电极板上交错式分布针形电极，高压电极板上设置针孔，构成电晕‑介质阻挡双极放电模式，具有可降低起始放电电压、放电场分布均匀、活性气体浓度高、放电空间大、安全性高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平板 针尖 放电 等离子 发生 | ||
【主权项】：
一种平板针尖放电式等离子发生体，包括壳体、气源进口、气源出口和电极板，其特征在于，所述壳体的一侧设置有气源进口，其相对的另一侧设置有气源出口，所述壳体的内部空腔中设置有电极板；所述电极板包括接地电极板和高压电极板，两个接地电极板相对设置，高压电极板位于接地电极板之间，中间间隔开的区域形成等离子体发生区域，与气源进、出口相对应；接地电极板上设置有阵列分布的针形电极，针形电极交错式分布于高压电极板的两侧，高压电极板上镀有绝缘层并设置有若干针孔，发生介质放电，交错分布的针形电极产生电晕放电，微观上强化电场，针孔与针形电极构成电晕‑介质阻挡双极放电模式。
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