[发明专利]一种蚀刻液浓度调整方法在审
申请号: | 201710074794.X | 申请日: | 2017-02-12 |
公开(公告)号: | CN108427442A | 公开(公告)日: | 2018-08-21 |
发明(设计)人: | 韦仁军;袁薇;张久军;马芳 | 申请(专利权)人: | 苏州耀群净化科技有限公司 |
主分类号: | G05D11/02 | 分类号: | G05D11/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州市吴中*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种蚀刻液浓度调整方法,包括步骤1:对于进行蚀刻液使用后的液体进行回收,得到回收液;步骤2:对回收液中的所有添加物使用浓度计进行浓度检测,得到各个添加物的浓度;步骤3:对回收液的体积使用液位计进行检测,得到回收液的体积;步骤4:对回收液添加含有各个添加物的调整溶液,各个添加物的溶剂相同,得到目标蚀刻液,本发明在使用蚀刻液后添加调整溶液,通过控制调整溶液的量,实现恢复蚀刻液浓度,使蚀刻液得到循环利用,减少污染,降低成本,而且添加的调整溶液的量很小。 | ||
搜索关键词: | 蚀刻液 回收液 添加物 浓度调整 减少污染 控制调整 浓度检测 循环利用 浓度计 使用液 溶剂 回收 检测 恢复 | ||
【主权项】:
1.一种蚀刻液浓度调整方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1:对于进行蚀刻液使用后的液体进行回收,得到回收液;步骤2:对回收液中的所有添加物使用浓度计进行浓度检测,得到各个添加物的浓度;步骤3:对回收液的体积使用液位计进行检测,得到回收液的体积;步骤4:对回收液添加含有各个添加物的调整溶液,各个添加物的溶剂相同,得到目标蚀刻液。
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