[发明专利]一种蚀刻液浓度调整方法在审

专利信息
申请号: 201710074794.X 申请日: 2017-02-12
公开(公告)号: CN108427442A 公开(公告)日: 2018-08-21
发明(设计)人: 韦仁军;袁薇;张久军;马芳 申请(专利权)人: 苏州耀群净化科技有限公司
主分类号: G05D11/02 分类号: G05D11/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏州市吴中*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种蚀刻液浓度调整方法,包括步骤1:对于进行蚀刻液使用后的液体进行回收,得到回收液;步骤2:对回收液中的所有添加物使用浓度计进行浓度检测,得到各个添加物的浓度;步骤3:对回收液的体积使用液位计进行检测,得到回收液的体积;步骤4:对回收液添加含有各个添加物的调整溶液,各个添加物的溶剂相同,得到目标蚀刻液,本发明在使用蚀刻液后添加调整溶液,通过控制调整溶液的量,实现恢复蚀刻液浓度,使蚀刻液得到循环利用,减少污染,降低成本,而且添加的调整溶液的量很小。
搜索关键词: 蚀刻液 回收液 添加物 浓度调整 减少污染 控制调整 浓度检测 循环利用 浓度计 使用液 溶剂 回收 检测 恢复
【主权项】:
1.一种蚀刻液浓度调整方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1:对于进行蚀刻液使用后的液体进行回收,得到回收液;步骤2:对回收液中的所有添加物使用浓度计进行浓度检测,得到各个添加物的浓度;步骤3:对回收液的体积使用液位计进行检测,得到回收液的体积;步骤4:对回收液添加含有各个添加物的调整溶液,各个添加物的溶剂相同,得到目标蚀刻液。
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