[发明专利]微粒子制造装置以及制造方法

摘要

本发明提供一种微粒子制造装置以及制造方法，通过使在针对回收量以及投入电力能量的处理中所利用的能量的效率变良好，从而能够增加微粒子的生产量以及实现低成本化。具有真空腔(1)、与真空腔连接且从材料供给口(12)向真空腔内供给材料粒子(30)的材料供给装置(10)、设置于真空腔且产生等离子体的电极(4)、以及与真空腔连接且回收微粒子的微粒子回收装置(3)，在所述真空腔内产生放电并根据所述材料来制造所述微粒子的装置，在真空腔的壁(13)与所述等离子体产生区域之间设置内腔(51)，该内腔(51)在与所述真空腔之间设置外侧空间(115)，还具备向所述真空腔的所述壁与所述内腔的壁(51a)之间的所述外侧空间供给气体的气体供给管(15)。

主权项

一种微粒子制造装置，具有：真空腔；材料供给装置，与所述真空腔连接，且从材料供给口向所述真空腔内供给材料的颗粒；电极，配置在所述真空腔，且在所述真空腔内的等离子体产生区域产生等离子体；以及回收装置，与所述真空腔连接，且回收从所述真空腔排出的微粒子，该微粒子制造装置通过在所述真空腔内产生的所述等离子体，根据从所述材料供给装置供给的所述材料来制造所述微粒子，在所述真空腔的壁与所述等离子体产生区域之间设置内腔，该内腔在与所述真空腔的所述壁之间设置外侧空间，所述微粒子制造装置还具备向所述真空腔的所述壁与所述内腔的壁之间的所述外侧空间供给气体的气体供给管。