[发明专利]用于屏蔽集成电路高密度封装电磁干扰方法及激光加工设备在审
申请号: | 201710076564.7 | 申请日: | 2017-02-13 |
公开(公告)号: | CN106981457A | 公开(公告)日: | 2017-07-25 |
发明(设计)人: | 熊政军;陈涛 | 申请(专利权)人: | 武汉澳谱激光科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/98 | 分类号: | H01L21/98;H01L23/552;B23K26/362;B23K26/064;B23K26/03 |
代理公司: | 武汉开元知识产权代理有限公司42104 | 代理人: | 唐正玉 |
地址: | 430074 湖北省武汉市洪山区东湖新*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及用于屏蔽集成电路高密度封装电磁干扰方法及激光加工设备,具体为把集成模块置于激光加工设备的三维工作台上,利用电荷藕合器件图像传感器CCD自动定位功能找到印刷电路板上已预设的参考点,进而找到印刷电路板上预制的接地金属带。激光加工设备自动在集成模块的封装体上沿接地金属带开槽,将金属带裸露出来。在所开微槽内灌注金属材料,如银浆,固化该金属材料后形成金属墙,再在该集成模块上方进行真空溅镀金属膜,将整个集成模块的电路封闭起来。本发明为集成模块的高集成度与微型化扫清了障碍。在经济效益上,效果也是显著的。 | ||
搜索关键词: | 用于 屏蔽 集成电路 高密度 封装 电磁 干扰 方法 激光 加工 设备 | ||
【主权项】:
用于屏蔽集成电路高密度封装电磁干扰方法,按以下步骤进行:在集成电路进行封装之前,先在用于封装的基板即印刷电路板上预制接地金属带,且金属带的位置位于产生电磁干扰器件的四周,即在印刷电路板上形成该电磁干扰器件的接地隔离电路;同时,在预制接地金属带的印刷电路板上预设若干参考点;所有器件按常用方法进行贴装在印刷电路板上,然后封装,从而形成能实现各种功能的集成模块;且集成模块的封装体为注塑材料,其特征在于:找到预制接地金属带的印刷电路板上预设的参考点,在集成模块的封装体上沿接地金属带开槽,将金属带裸露出来,在所开的槽内灌注金属材料,金属材料固化后形成金属墙,再在集成模块上方进行真空溅镀金属膜,将整个集成模块的电路封闭起来。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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