[发明专利]一种含黑磷烯的石墨烯柔性阻变存储器及其制备方法在审
| 申请号： | 201710076597.1 | 申请日： | 2017-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN106876584A | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 王海燕 | 申请（专利权）人： | 东莞市佳乾新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司11246 | 代理人： | 连平 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市松山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种含黑磷烯的石墨烯柔性阻变存储器及其制备方法，该阻变存储器的制备方法为清洗Al2O3衬底；采用电子束蒸发技术沉积Ni/Au复合薄膜，得到底电极层；采用转移法在底电极层上转移含黑磷烯的石墨烯复合薄膜材料，得到阻变功能层；通过光刻胶构图工艺形成顶电极图形，采用电子束蒸发技术沉积Ag、Cu或者Ni的薄膜，形成顶电极层，去除光刻胶，剥离，形成存储单元；通过光刻胶构图工艺形成披覆层图形，采用原子层沉积技术在沉积Al2O3薄膜，形成披覆层，去除光刻胶，剥离，形成含黑磷烯的石墨烯柔性阻变存储器。本发明制备的阻变存储器的结构简单，擦写速度快，操作电压小，非破坏性读出，可用于制成大面积和柔性器件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 黑磷 石墨 柔性 存储器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种含黑磷烯的石墨烯柔性阻变存储器，其特征在于：所述含黑磷烯的石墨烯柔性阻变存储器从下至上依次包括衬底、底电极层、阻变功能层、顶电极层和披覆层，所述阻变功能层为含黑磷烯的石墨烯复合薄膜材料，所述衬底为Al2O3材料，所述底电极层为Ni/Au复合薄膜，所述顶电极层为Ag、Cu或者Ni的薄膜，所述披覆层为Al2O3材料。
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