[发明专利]滤光器阵列

摘要

一种装置可以包括设置在基板上的滤光器阵列。滤光器阵列可以包括设置在基板上的第一反射镜。滤光器阵列可以包括设置在第一反射镜上的多个间隔件。多个间隔件的第一间隔件可以与第一厚度相关。多个间隔件的第二间隔件可以与第二厚度相关，所述第二厚度与第一厚度不同，对应于第一间隔件的第一通道和对应于第二间隔件的第二通道与小于大约10微米(μm)的分离宽度相关。滤光器阵列可以包括设置在多个间隔件上的第二反射镜层。

主权项

一种装置，包括：滤光器阵列，设置在基板上，所述滤光器阵列包括：第一反射镜，设置在基板上，多个间隔件，设置第一反射镜上，所述多个间隔件中的第一间隔件与第一厚度相关，所述多个间隔件中的第二间隔件与第二厚度相关，所述第二厚度与第一厚度不同，对应于第一间隔件的第一通道和对应于第二间隔件的第二通道与小于大约10微米(μm)的分离宽度相关；和第二反射镜，设置在所述多个间隔件上。