[发明专利]一种热成像传感器像素单元及其阵列

摘要

本发明涉及一种热成像传感器像素单元及其阵列，该像素单元包括衬底、热量汇聚组件和热吸收组件；热吸收组件位于衬底和热量汇聚组件之间；热量汇聚组件包括聚焦透镜；聚焦透镜内嵌在中空的框架内悬空架设在热吸收组件的上方；热吸收组件包括热吸收板和位于热吸收板表面的温度传感器；热吸收板通过第一支撑架悬空架设在衬底的上方；聚焦透镜用于将热辐射汇聚至热吸收板的表面。本发明实施例提供的技术方案，通过设置悬空的聚焦透镜使物体的热辐射进行汇聚，从而减少了热散射，提高了热吸收的比例，进而提高了检测的准确度。

主权项

一种热成像传感器像素单元，其特征在于，包括：衬底、热量汇聚组件和热吸收组件；所述热吸收组件位于所述衬底和热量汇聚组件之间；所述热量汇聚组件包括聚焦透镜；所述聚焦透镜内嵌在中空的框架内悬空架设在所述热吸收组件的上方；所述热吸收组件包括热吸收板和位于所述热吸收板表面的温度传感器；所述热吸收板通过第一支撑架悬空架设在所述衬底的上方；所述聚焦透镜用于将热辐射汇聚至所述热吸收板的表面。