[发明专利]麦克风及其制造方法有效
| 申请号： | 201710077955.0 | 申请日： | 2017-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN107979799B | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 俞一善 | 申请（专利权）人： | 现代自动车株式会社 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供麦克风及其制造方法。本发明提供微电子机械系统(MEMS)麦克风。MEMS麦克风包括：基底，其包括音频孔，并且沿着上表面边缘在预定段处具有氧化物层；振动电极，其由支撑层支撑，所述支撑层在音频孔相对应的上部，以从氧化物层向中心内侧分离的状态，沿着上表面边缘形成；固定电极，其形成在氧化物层的上部，并且支撑层的一侧接合到固定电极的下表面的一侧；和背板，其形成在固定电极的上部，并且支撑层的另一侧接合到背板的下表面的一侧。 | ||
| 搜索关键词： | 麦克风 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种麦克风，包括：基底，其包括音频孔，并且沿着上表面边缘在预定段内形成有氧化物层；振动电极，其在与所述音频孔相对应的上部，以与所述氧化物层向中心内侧分离的状态，由支撑层支撑，所述支撑层沿着上表面边缘形成；固定电极，其形成在所述氧化物层的上部，并且所述支撑层的一侧接合到所述固定电极的下表面的一侧；和背板，其形成在所述固定电极的上部，并且所述支撑层的另一侧接合到所述背板的下表面的一侧。
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