[发明专利]干燥组件及显影装置在审
| 申请号： | 201710078898.8 | 申请日： | 2017-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN107065453A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 陈建;陆相晚;朱涛;袁慧芳;唐文浩;方群;董安鑫;尹海斌;钟国强;殷瑞;余娅;吉强 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司11138 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种干燥组件及显影装置，属于显示基板制造领域。干燥组件包括干燥腔室、喷液件和加热件，喷液件设置在干燥腔室内，加热件设置在干燥腔室外，加热件用于对干燥腔室进行加热，喷液件用于向干燥腔室内的基板喷洒预设液体，预设液体能够与水形成共沸物。本发明解决了空气刀对基板的干燥效果较差的问题，达到了能够较好的干燥基板的效果。本发明用于去除基板的水渍。 | ||
| 搜索关键词： | 干燥 组件 显影 装置 | ||
【主权项】：
一种干燥组件，其特征在于，所述干燥组件包括：干燥腔室、喷液件和加热件，所述喷液件设置在所述干燥腔室内，所述加热件设置在所述干燥腔室外，所述加热件用于对所述干燥腔室进行加热，所述喷液件用于向所述干燥腔室内的基板喷洒预设液体，所述预设液体能够与水形成共沸物。
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