[发明专利]具有微桥结构的红外探测器及其制造方法有效
| 申请号： | 201710080817.8 | 申请日： | 2017-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN106629578B | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 池积光;金杰;姜利军 | 申请（专利权）人： | 浙江大立科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;G01J5/10 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 310053 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种具有微桥结构的红外探测器及其制造方法，所述红外探测器包括：基底，所述基底表面内形成有金属互连层；部分悬空于所述基底上方的图形化的微桥结构，所述微桥结构包括桥腿和桥梁，所述桥腿与所述金属互连层电连接，所述桥梁悬空且向上翘起；部分悬空于微桥结构上方的图形化的红外敏感层，且所述红外敏感层与所述微桥结构的桥梁电连接，由所述桥梁支撑。所述红外探测器的良率提高，具有更高的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 结构 红外探测器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有微桥结构的红外探测器，其特征在于，包括：基底，所述基底表面内形成有金属互连层；部分悬空于所述基底上方的图形化的微桥结构，所述微桥结构包括桥腿和桥梁，所述桥腿与所述金属互连层电连接，所述桥腿具有一倾斜部，与所述桥梁连接；部分悬空于微桥结构上方的图形化的红外敏感层，且所述红外敏感层与所述微桥结构的桥梁电连接，由所述桥梁支撑，所述微桥结构的桥梁位于所述红外敏感层下方并且与所述红外敏感层之间具有一空腔，所述敏感层具有下沉部，位于所述微桥结构上方；所述桥梁悬空，在自身应力作用下向上翘起，高于所述桥腿，以增大所述微桥结构与所述红外敏感层的下沉部之间的距离。
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