[发明专利]一种基于单振镜与自适应镜3D扫描光学系统

摘要

本发明公开了一种基于单振镜与自适应镜3D扫描光学系统，包括第一自适应镜、第二自适应镜、第三自适应镜、长焦离轴抛物镜以及平面反射振镜；本发明结构设计新颖，采用单振镜扫描方案，引入了自适应镜变倍扩束模块与聚焦调焦模块，在保证镜片安装固定不动的前提下，既能够单独控制聚焦光斑大小，又能够保证聚焦光束大幅调焦；在同样实现3D大幅扫描的同时优化振镜数量，双轴旋转中绕入射光轴旋转不影响激光反射率，改善了光束偏转角所引起的激光反射率变化；全反射式金属光学镜片，可直接水冷，具有良好导热特性，大幅提高镜片承受功率。

主权项

一种基于单振镜与自适应镜3D扫描光学系统,其特征在于：包括第一自适应镜、第二自适应镜、第三自适应镜、长焦离轴抛物镜以及平面反射振镜，所述第一自适应镜与第二自适应镜有相同的光束偏转角且中心法线平行，组成连续变倍扩束模块；所述第三自适应镜置于长焦离轴抛物镜之前，光束依次经过第一自适应镜、第二自适应镜、第三自适应镜、长焦离轴抛物镜以及平面反射振镜，所述第一自适应镜、第二自适应镜、第三自适应镜、长焦离轴抛物镜以及平面反射振镜镜片中心与光束中心重合。