[发明专利]一种单振镜全反射式位移调焦3D扫描光学系统

摘要

本发明公开了一种单振镜全反射式位移调焦3D扫描光学系统，包括凸面离轴抛物镜，凹椭球面反射镜以及平面反射振镜，本发明结构设计新颖，采用单振镜扫描方案，在同样实现3D大幅扫描的同时优化振镜数量，双轴旋转中绕入射光轴旋转不影响激光反射率，改善了光束偏转角所引起的激光反射率变化，全反射式金属光学镜片，可直接水冷，具有良好导热特性，大幅提高镜片承受功率，同时较长的聚焦焦距，通过扩束聚焦模块的位移补偿，根据激光器的种类有不同的镀膜，尤其适用于千瓦、万瓦级高功率激光器的3D激光大幅扫描加工应用。

主权项

一种单振镜全反射式位移调焦3D扫描光学系统,其特征在于：包括凸面离轴抛物镜、凹椭球面反射镜以及平面反射振镜,所述凸面离轴抛物镜与所述凹椭球面反射镜有相同的光束偏转角且中心法线平行，所述凸面离轴抛物镜焦点与所述凹椭球面反射镜前焦点重合，所述凸面离轴抛物镜、凹椭球面反射镜、平面反射振镜中心与光束中心重合。