[发明专利]处理波长移相干涉中超薄平行平板交叉式干涉条纹方法

摘要

本发明涉及一种处理波长移相干涉中超薄平行平板交叉式干涉条纹方法，在波长移相干涉测量获得的超薄平行平板干涉图时引入sobel算子，通过空间方向滤波分离超薄平板前后表面干涉条纹，然后通过时域移相算法处理分离后的干涉条纹，从而得到前后表面的面形信息。该方法主要针前后表面产生交叉式干涉条纹的超薄平行平板的条纹图处理，可用于实现超薄平板前后表面面形的分离测量。

主权项

1.一种处理波长移相干涉中超薄平行平板交叉式干涉条纹方法，其特征在于，由以下步骤实现：步骤一：波长移相干涉仪通过波长调谐测量超薄平行平板，得到包含前后表面面形信息的一系列波长移相干涉图；步骤二：对这一系列波长移相干涉图进行二维傅里叶变换，根据二维频谱图求出分别代表前表面和后表面的干涉图的频谱方向导数；步骤三：根据得到的频谱方向导数，利用sobel算子对这些干涉图进行频域方向滤波，分离出前后表面干涉光强信息；步骤四：利用时域移相算法对得到的二组干涉光强信号进行处理，分别得到超薄平行平板前后表面的面形信息；利用sobel算子，通过空间方向滤波分离超薄平板前后表面干涉光强信息，具体方法如下：假设前表面干涉调制信号如式（1）表示，x、y坐标分别为任意象素或定点的水平和垂直坐标：z1=cos(2x/600‑2y/600)     （1）假设后表面干涉调制信号如式（2）表示：z2=0.7cos(2x/300)       （2）则前后表面干涉混合产生的调制信号为如式（3）表示：z= cos(2x/600‑2y/600)+0.7cos(2x/300)                       （3）对式（3）进行二维傅里叶变换，最后得到的频谱图方向导数为0°和135°，因此得到复合干涉光强信号后，通过二维傅里叶变换，找到前后表面干涉光强信号方向导数，分别利用sobel0°算子和sobel135°算子分离前后表面干涉光强信号；其中，sobel0°算子为：            （4）sobel135°算子为：           （5）通过matlab模拟，得到分离的结果。