[发明专利]用于透射-电子背散射衍射的工具及衍射图像成像方法

摘要

本发明涉及一种用于透射‑电子背散射衍射的工具及衍射图像成像方法，通过在传统的样品台基础上加了一个透射电镜样品安装夹，并固定其衍射角度(70°)，对材料进行透射‑电子背散射衍射图像成像。提供了一种新的分析方法。透射电镜样品不仅可以在透射电镜上分析，还可以用在EBSD上利用背散射电子，同时，样品台倾角的精准确定固定了样品的位置，更容易安装，是更多的电子束轰击目标区域，减少了其它部分的影响，同时还可以清晰的获得花样与材料的对应关系，弄清显微图像对应的样品实际区域。本方法中所使用的样品台可以固定样品，并有固定的倾角，减少样品台带来的实验误差，提高成像的空间分辨率，同时也方便了操作者的实际操作。

主权项

1.一种用于透射‑电子背散射衍射的工具，其特征在于包括垂直固定架(1)和样品夹具(2)；垂直固定架(1)的下端设有用于固定旋转样品台(3)的固定轴，下端为两个相互垂直的第一表面(4)和第二表面(5)，第一表面(4)上设有固定螺孔，第二表面(5)上设有成孔(6)；样品夹具(2)圆台(8)的一端设有与成孔(6)相配的圆柱杆(7)，另一端为可拆分的上半部(10)和固定在圆台(8)上的下半部(9)，上半部(10)通过螺钉(12)与下半部(9)固连，被测样品由上半部(10)和下半部(9)进行夹持；所述第一表面(4)与水平面成20度角；所述第二表面(5)与水平成70度角；所述上半部(10)和下半部(9)的夹持端为两个相交的斜面。