[发明专利]光谱平衡的共聚焦测量装置及方法在审
| 申请号： | 201710085306.5 | 申请日： | 2017-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN106872376A | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 刘杰波 | 申请（专利权）人： | 深圳立仪科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/27 | 分类号： | G01N21/27 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518116 广东省深圳市龙岗区龙城街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光谱平衡的共聚焦测量装置及方法，该装置包括光源，用于发出预设的光谱分布特性的出射光，出射光在不同的波长时的光强分布曲线与传感部、采样部和/或分光部的光谱响应曲线在工作波段呈反向的走势；采样部，用于接收出射光后产生轴向色差照射至被测物，且使由被测物返回的反射光通过；分光部，用于将不同波长的光按规律分配到传感部；传感部；耦合部，用于耦合光源发出的出射光经过采样部照射在被测物上；且使被测物返回的反射光经过采样部传输到分光部。本发明使光源发出的出射光在不同的波长时的光强分布曲线与传感部、采样部和/或分光部的光谱响应曲线在工作波段呈反向的走势，实现了光谱平衡优化，提高了测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱 平衡 聚焦 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种光谱平衡的共聚焦测量装置，其特征在于，包括：光源，用于发出预设的光谱分布特性的出射光，所述出射光在不同的波长时的光强分布曲线与传感部、采样部和/或分光部的光谱响应曲线在工作波段呈反向的走势；所述采样部，用于接收所述光源出射的出射光产生轴向色差，使产生该轴向色差的光照射至被测物，且使由所述被测物返回的反射光通过；所述分光部，用于将不同波长的光按规律分配到传感部，利于所述传感部检测；所述传感部，用于将所述反射光转换成电信号，以利于解析获取测量结果；耦合部，用于耦合所述光源发出的出射光传输经过所述采样部照射在所述被测物上；以及使所述被测物返回的反射光经过所述采样部传输到所述分光部。
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