[发明专利]一种基于液晶空间光调制器的激光柔性微加工系统及方法

摘要

本发明公开了一种基于液晶空间光调制器的激光柔性微加工系统及方法，系统包括激光器、第一反射镜、λ/2波片、扩束镜、第二反射镜、第一空间光调制器、第二空间光调制器、λ/4波片、第一透镜、第三反射镜、空间滤波器、第四反射镜、第二透镜、分光镜、第三透镜、CCD相机、振镜、场镜、工作台和电脑；本发明利用液晶空间光调制器波前调制特性，提出一种激光光束数量、光束形状及质量、偏振态、角动量等多参数可控的广适应性的柔性激光加工技术，再结合波前测量和反馈技术，不仅能够校正波前像差，而且能够把高能量光束分解成任意的二维或三维低能量多光束，且该光束的形状和偏振态等参数灵活控制，是高质量、高效、极高的适应性和灵活性的激光加工技术。

主权项

1.一种基于液晶空间光调制器的激光柔性微加工系统，其特征在于：包括激光器(1)、第一反射镜(2)、λ/2波片(3)、扩束镜(4)、第二反射镜(5)、第一空间光调制器(6)、第二空间光调制器(7)、λ/4波片(8)、第一透镜(9)、第三反射镜(10)、空间滤波器(11)、第四反射镜(12)、第二透镜(13)、分光镜(14)、第三透镜(15)、CCD相机(16)、振镜(17)、场镜(18)、工作台(19)和电脑(20)；所述激光器(1)发出的激光光束依次经过所述第一反射镜(2)、λ/2波片(3)后入射到所述扩束镜(4)中进行扩束，扩束后的光束依次经过所述第二反射镜(5)、第一空间光调制器(6)后入射到所述第二空间光调制器(7)上，出射光依次经过所述λ/4波片(8)、第一透镜(9)、第三反射镜(10)、空间滤波器(11)、第四反射镜(12)、第二透镜(13)后入射所述分光镜(14)中，反射光经过所述第三透镜(15)聚焦后入射到所述CCD相机(16)中，用于观测光束能量分布均匀性，经过分光镜(14)的透射光将第二空间光调制器(7)近场的像传递到所述振镜(17)中，经所述场镜(18)聚焦后入射在所述工作台(19)上，用于加工样品；所述电脑(20)分别与所述第一空间光调制器(6)、第二空间光调制器(7)、CCD相机(16)连接，用于控制所述第一空间光调制器(6)、第二空间光调制器(7)、CCD相机(16)工作。