[发明专利]一种镧掺杂钛酸铋铁电薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201710092414.5 | 申请日： | 2017-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN108455661A | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 陈桂竹;邬轶雯;乐晓茜 | 申请（专利权）人： | 上海市闵行第二中学 |
| 主分类号： | C01G23/00 | 分类号： | C01G23/00;G11C11/22 |
| 代理公司： | 上海远同律师事务所 31307 | 代理人： | 张坚 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
一种镧掺杂钛酸铋铁电薄膜及其制备方法，其特征在于，所述铁电薄膜的晶格常数a值为 |
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| 搜索关键词： | 制备 镧掺杂 钛酸铋铁电薄膜 前驱体溶液 铁电薄膜 硝酸盐 退火 致密 铁电薄膜结构 混合溶液中 乙二醇甲醚 钛酸四丁酯 晶粒 衬底材料 晶格常数 快速退火 铁电性能 完全溶解 信息存储 性能优化 乙酰丙酮 镧硝酸盐 冰醋酸 结晶性 三段式 旋涂法 钛酸铋 元器件 称取 旋涂 沉积 制作 加工 应用 | ||
【主权项】：
1.一种镧掺杂钛酸铋铁电薄膜，其特征在于，所述铁电薄膜的晶格常数a值为![]()
b值为![]()
c值为![]()
所述铁电薄膜的晶粒尺寸为20‑30nm。
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