[发明专利]一种薄膜晶体管有效
| 申请号： | 201710096247.1 | 申请日： | 2017-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN107046064B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 韩约白;虞晓江 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/06 |
| 代理公司： | 44280 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 钟子敏 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种薄膜晶体管，其中，包括遮光层和多晶硅层，所述遮光层设于所述多晶硅层之下；俯视时所述遮光层与所述多晶硅层之间存在夹角，所述夹角为锐角或钝角。本发明通过合理设计遮光层形状，突破了工艺制程的限制，可在更大的范围内减小多晶硅层在遮光层边缘爬坡位置的倾斜度，达到改善多晶硅导电特性的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管，其特征在于，包括遮光层和多晶硅层，所述遮光层设于所述多晶硅层之下；所述多晶硅层由准分子激光晶化工艺制备；/n俯视时所述遮光层与所述多晶硅层之间存在夹角，所述夹角为锐角或钝角；/n俯视时与所述多晶硅层的生长方向相平行的所述多晶硅层的边缘设为第一边，与所述多晶硅层相接触的所述遮光层的边缘设为第二边；/n所述夹角是所述第一边与所述第二边之间的交角；/n所述第二边为锯齿状。/n
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