[发明专利]一种凸凹探针及其等离子体诊断方法有效
| 申请号： | 201710096622.2 | 申请日： | 2017-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN106851953B | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 陆文琪;李建泉;徐军;王奇 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 梅洪玉 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种凸凹探针及其等离子体诊断方法，用于诊断等离子体获得准确的等离子体空间电位、电子密度和电子能量分布函数。其特征是：凸探针、绝缘管和金属导线组成凸探针组件；凹探针、绝缘套管和金属导线组成凹探针组件；凸探针组件和凹探针组件构成凸凹探针组合，凸凹探针组合包括分体式和一体伸缩式两种形式；诊断等离子体时，测量凸探针和凹探针各自的电流随扫描偏置电压的变化，得到凸探针和凹探针各自的伏安特性曲线，再利用公式获得电子能量分布函数。本发明能够准确地指示出等离子体空间电位和确定凸探针的电子收集面积，获得的电子密度和电子能量分布函数更准确；凸探针对等离子体扰动最小，电流密度均匀，获得的电子能量分布函数更准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 凸凹 探针 及其 等离子体 诊断 方法 | ||
【主权项】：
1.一种凸凹探针，其特征是：凸探针、绝缘管和金属导线组成凸探针组件；所述的绝缘管与凸探针直径相同；凹探针、绝缘套管和金属导线组成凹探针组件；凸探针组件和凹探针组件构成凸凹探针组合；所述的凸探针为半球形，直径为0.5‑50mm；所述凸探针的半球的平面部分与所述的绝缘管的一端正对接触或留一个缝隙；所述的缝隙的宽度不大于所述的半球和所述的绝缘管直径的1/10；所述的凹探针为圆筒形，内径为0.5‑50mm，深径比大于10；所述的凹探针一端开放，圆筒外紧套所述的绝缘套管，圆筒开放的一端边缘与绝缘套管边缘平齐。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大连理工大学，未经大连理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710096622.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
