[发明专利]可控制加热能量的微机电装置有效
| 申请号： | 201710096747.5 | 申请日： | 2017-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN108249384B | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 许郁文;罗英哲;黄肇达;邓礼涛 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;G01N27/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王珊珊 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种可控制加热能量的微机电装置，包括传感器以及集成电路芯片。传感器的加热元件用以加热感测元件。传感器的检测元件用以检测物理量，而集成电路芯片的存储器单元存储感测元件的目标值。集成电路芯片的数据处理单元将物理量转换成转换值，并定义差距值为目标值减去转换值。另外，集成电路芯片的控制单元依据差距值设定参数值，且驱动单元依据参数值调整加热元件所产生的热量，因而能减少加热元件加热时间与加热频率，以降低电能消耗。微机电装置可应用于需要控制工作温度的微机电传感器，例如气体传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 加热 能量 微机 装置 | ||
【主权项】：
1.一种微机电装置，其特征在于，包括：传感器，包括：感测元件；加热元件，用以加热该感测元件；以及至少一检测元件，用以检测至少一物理量；以及集成电路芯片，包括：存储器单元，存储该感测元件的至少一目标值；数据处理单元，其中该数据处理单元将该至少一物理量转换成至少一转换值，并定义至少一差距值为该至少一目标值减去该至少一转换值；控制单元，依据该至少一差距值设定至少一参数值；以及驱动单元，依据该至少一参数值驱动该加热元件以调整该加热元件所产生的热量。
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