[发明专利]一种光阻浓度控制系统及方法在审
| 申请号： | 201710099107.X | 申请日： | 2017-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN106681107A | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 夏青林;徐元权 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/34 | 分类号： | G03F7/34;G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 | 代理人： | 吴大建 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光阻浓度控制系统及方法，该系统包括：药槽，其设置有自动阀门，所述自动阀门用于根据控制信号打开或关闭；控制器，用于根据所述药槽中药液的实时光阻浓度产生并输出所述控制信号。本发明可以节省剥离药液使用量，并保证药槽中药液的光阻浓度保持稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 浓度 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
一种光阻浓度控制系统，包括：药槽，其设置有自动阀门，所述自动阀门用于根据控制信号打开或关闭；控制器，用于根据所述药槽中药液的实时光阻浓度产生并输出所述控制信号。
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