[发明专利]带电粒子显微术中的三维成像有效
| 申请号： | 201710099178.X | 申请日： | 2017-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN107316793B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | F.博霍贝;P.波托塞克;I.格斯特曼恩 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/244 |
| 代理公司： | 72001 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 周学斌;陈岚 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及带电粒子显微术中的三维成像。一种使用带电粒子显微术研究样本的方法，其包括以下步骤：（a）在样本的表面上，选择在XY平面中延伸并且包括在所述表面的二维扫描期间要被带电粒子探测射束撞击到其上的网格节点的虚拟采样网格；（b）利用所述表面以下的相关联的标称Z穿透深度d | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 显微 中的 三维 成像 | ||
【主权项】：
1.一种使用带电粒子显微术研究样本的方法，其包括以下步骤：/n（a）在样本的表面上，选择在XY平面中延伸并且包括在所述表面的二维扫描期间要被带电粒子探测射束撞击到其上的网格节点的虚拟采样网格；/n（b）利用所述表面以下的相关联的标称Z穿透深度d
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于FEI公司，未经FEI公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710099178.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
